• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    Die Erfindung betrifft eine Schutzgaszuführung (2) einer Laserbearbeitungsmaschine. Es ist eine bei Kollision der Schutzgaszuführung (2) während der Laserbearbeitung lösbare Halterung der Schutzgaszuführung (2) an einem Teil (3) eines Laserbearbeitungskopfs vorgesehen. Eine fehlerhafte Bearbeitung als Folge der Kollision der Schutzgaszuführung (2) mit Teilen der Spannvorrichtung oder des Werkstücks kann dadurch verhindert werden.The invention relates to a protective gas supply (2) of a laser processing machine. A protective gas supply (2), which is detachable during collision of the protective gas supply (2) during laser processing, is provided on a part (3) of a laser processing head. Erroneous processing as a result of the collision of the protective gas supply (2) with parts of the clamping device or the workpiece can be prevented.
    公开号:DE102004014510A1
    申请号:DE102004014510
    申请日:2004-03-25
    公开日:2005-10-13
    发明作者:Peter Heck；Jörg Müller
    申请人:Trumpf Laser und Systemtechnik GmbH；
    IPC主号:B23K26-14
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft eine Schutzgaszuführung einer Laserbearbeitungsmaschine.TheThe invention relates to a protective gas supply of a laser processing machine.
    [0002] ZumSchutz der Bearbeitungsstelle beim CO2-Laserschweißen wirdder Bearbeitungsstelle ein Schutzgas zugeführt. Die Schutzgaszuführung istbei der Laserbearbeitung Kollisionen mit der Spannvorrichtung für das Werkstück oderauch einem komplexen Werkstückausgesetzt. Die Kollision einer bekannten, an den Laserbearbeitungskopfstarr angebundenen Schutzgaszuführungmit Teilen der Spannvorrichtung führt zur Verstellung der Laseroptik.Daraus ergeben sich nachteiligerweise versetzte Schweißnähte.To protect the processing point during CO 2 laser welding, the processing point is supplied with a protective gas. The protective gas supply is exposed during laser machining collisions with the clamping device for the workpiece or even a complex workpiece. The collision of a known, rigidly connected to the laser processing head inert gas supply with parts of the clamping device leads to the adjustment of the laser optics. This results disadvantageously staggered welds.
    [0003] DerAnmelder hat sich die Aufgabe gestellt, eine fehlerhafte Bearbeitungals Folge der Kollision der Schutzgaszuführung mit Teilen der Spannvorrichtungoder des Werkstückszu verhindern.Of theApplicant has set himself the task, a faulty processingas a result of the collision of the protective gas supply with parts of the clamping deviceor the workpieceto prevent.
    [0004] DieseAufgabe wird durch eine Schutzgaszuführung gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Patentansprüche 2 bis8 betreffen sinnvolle Weiterbildungen der Erfindung.TheseTask is solved by a protective gas supply according to claim 1. Claims 2 to8 relate to meaningful developments of the invention.
    [0005] Durchdie lösbareHalterung der Schutzgaszuführungan dem Laserbearbeitungskopf wird erreicht, dass keine Beschädigung derSchutzgaszuführung,der Laserbearbeitungsdüse,der Spannvorrichtung oder des Werkstücks bei einer Kollision der Schutzgaszuführung eintritt.Die Schutzgaszuführungkann einfach wegklappen.Bythe detachableHolder of the protective gas supplyAt the laser processing head is achieved that no damage to theProtective gas supply,the laser processing nozzle,the clamping device or the workpiece occurs in a collision of the protective gas supply.The inert gas supplycan just fold away.
    [0006] Eineleicht durchführbaretechnische Umsetzung der lösbarenHalterung kann darin bestehen, eine magnetische Halterung vorzusehen.Mehrere beispielsweise vier vorzugsweise runde Magnete (Dauermagnete)sorgen füreine präziseund schnelle Anbringung der Schutzgaszuführung an der Laserbearbeitungsdüse. Vorzugsweisedrei Kugeln der Halterung und entsprechende Aufnahmen für die Kugeln aneiner Gegenflächegewährleisteneine exakte und schnelle Positionierung.Aeasy to carry outtechnical implementation of the detachableHolder may be to provide a magnetic holder.Several, for example, four preferably round magnets (permanent magnets)take care ofa precise oneand rapid attachment of the protective gas supply to the laser processing nozzle. Preferablythree balls of the holder and corresponding receptacles for the ballsa counter surfaceguaranteean exact and fast positioning.
    [0007] DieHalterung der Schutzgaszuführungsoll vorzugsweise mithilfe zweier gegeneinander anliegender Plattenerfolgen. Die erste Platte kann einen durch die zweite Platte verschließbaren,mit Druckluft befüllbarenKanal oder Hohlraum aufweisen, wobei ein Sensor zur Überwachungdes Luftdrucks und eine mit dem Sensor verbundene Steuereinrichtung zurAbschaltung der Laserbearbeitungsmaschine bei einem bestimmten Druckabfallvorgesehen sind. Dies führtzu einem automatischen Abschalten der Laserbearbeitung ohne eineProduktion fehlerhafter Schweißnähte.TheHolder of the protective gas supplyshould preferably by means of two abutting platesrespectively. The first plate may be closed by the second plate,filled with compressed airChannel or cavity, with a sensor for monitoringthe air pressure and connected to the sensor control means forShutdown of the laser processing machine at a certain pressure dropare provided. this leads toto an automatic shutdown of the laser processing without aProduction of defective welds.
    [0008] Vorteilhaftist die rohrförmigeGestaltung der Schutzgaszuführung.Durch Nutzung der langen schlanken Form werden zwei Vorteile erzielt:1. eine verbesserte Zugänglichkeitund 2. ein langer Hebel und somit eine hohe, in gewissem Rahmenauch einstellbare Empfindlichkeit des Kollisionsschutzes.Advantageousis the tubular oneDesign of the protective gas supply.By using the long slender shape two advantages are achieved:1. improved accessibilityand 2. a long lever and thus a high, to some extentalso adjustable sensitivity of the collision protection.
    [0009] DerAufbau der Schutzgaszuführungaus mehreren flachen Blechteilen ist einerseits eine sinnvolle Weiterbildungdieser Erfindung und wird andererseits aber auch als eigene Erfindungangesehen. Aus dem Aufbau ergibt sich eine flache, schlanke Gaszuführung, welcheeine geringe Bautiefe zu Vermeidung einer Kollision aufweist.Of theStructure of the protective gas supplyfrom several flat sheet metal parts is on the one hand a useful developmentThis invention and on the other hand, but also as a separate inventionconsidered. From the structure results in a flat, slender gas supply, whichhas a small depth to avoid collision.
    [0010] Laserbearbeitungskopfund Schutzgaszuführungkönnenam besten gemeinsam in entsprechenden Bearbeitungsräumen positioniertwerden, wenn die Schutzgaszuführungseitlich am Laserbearbeitungskopf bzw. seitlich an der Laserbearbeitungsdüse angeordnetist.Laser processing headand inert gas supplycanbest positioned together in appropriate processing areaswhen the inert gas supplyarranged laterally on the laser processing head or laterally on the laser processing nozzleis.
    [0011] DiePositionierung der Schutzgaszuführung wirdunterstütztdurch Verstellmöglichkeitender Schutzgaszuführungan der Laserbearbeitungsdüse inx-, y- und z-Richtung.ThePositioning of the protective gas supply issupportsby adjustmentthe protective gas supplyat the laser processing nozzle inx, y and z direction.
    [0012] EinAusführungsbeispielder Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgendmit Bezug zur Figur der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt im Einzelnen:OneembodimentThe invention is illustrated schematically in the drawing and will be described belowexplained in more detail with reference to the figure of the drawing. It shows in detail:
    [0013] 1 eineAnsicht der Vorderseite einer Laserbearbeitungsdüse mit einer Schutzgaszuführung; 1 a view of the front of a laser processing nozzle with a protective gas supply;
    [0014] 2 eineAnsicht der linken Seite der Laserbearbeitungsdüse gemäß 1; 2 a view of the left side of the laser processing nozzle according to 1 ;
    [0015] 3a, 3b, 4 vergrößerte isometrischeAnsichten der Halterung der Schutzgaszuführung gemäß 1; 3a . 3b . 4 enlarged isometric views of the holder of the protective gas supply according to 1 ;
    [0016] 5 eineAusschnittsvergrößerung der Seitenansichtgemäß 2; 5 an enlarged detail of the side view according to 2 ;
    [0017] 6 denAufbau der Schutzgaszuführung gemäß 1. 6 the structure of the protective gas supply according to 1 ,
    [0018] Ausder 1 ist ersichtlich, dass ein Laserbearbeitungskopfeiner Laserbearbeitungsmaschine zum Laserschweißen eine Laserbearbeitungsdüse für einenfokussierten Laserstrahl 1 und eine Schutzgaszuführung 2 umfasst.Die Laserbearbeitung kann beispielsweise mithilfe eines CO2-Lasers erfolgen.From the 1 It can be seen that a laser processing head of a laser processing machine for laser welding a laser processing nozzle for a focused laser beam 1 and an inert gas supply 2 includes. The laser processing can be done, for example, using a CO 2 laser.
    [0019] Untereinem Schutzgas ist ein inertes Gas (zum Beispiel Argon) zu verstehen,welches eine Bearbeitungsstelle zur Vermeidung einer Oxidation vor dersauerstoffhaltigen Atmosphäreabschirmt.Undera shielding gas is an inert gas (for example argon),which a processing point to avoid oxidation beforeoxygen-containing atmosphereshields.
    [0020] DernähereAufbau der Laserbearbeitungsdüsezur Ausrichtung des Laserstrahls 1 auf die Bearbeitungsstelleist an sich bekannt und wird daher hier nicht näher beschrieben. Die Laserbearbeitungsdüse weistim Wesentlichen als Bestandteile eine Hülse 3, einen Klemmkörper 4 undein Düsenrohr 5 auf,aus dem der Laserstrahl 1 austritt.The closer structure of the laser processing nozzle for aligning the laser beam 1 to the processing point is known and therefore will not be described here. The laser processing nozzle essentially has a sleeve as constituents 3 , a clamp body 4 and a nozzle tube 5 on, out of which the laser beam 1 exit.
    [0021] Gegenstandder Erfindung ist unabhängig vonder Art des eingesetzten Lasers die Halterung der Schutzgaszuführung 2.Um die zylindrische Hülse 3 istein geteilter Klemmring 6 befestigt. Auf dem einen Teil 6a desKlemmrings 6 wird eine erste Platte 7 befestigt.Zur Befestigung und Postionierung an dem Teil 6a sind Langlöcher 8 ausgebildet,welche eine Verschiebung der Platte 7 in Richtung des Doppelpfeils 9 (x-Richtung)zulassen. Die erste Platte 7 ist durch Stifte 10 inden Langlöchern 8 geführt. Die erstePlatte 7 (siehe auch 3a und 3b)dient als Anlageflächefür einezweite Platte 11. Die Halterung der zweiten Platte 11 ander ersten Platte 7 ist durch Magnete verwirklicht. Andieser magnetisch gehaltenen zweiten Platte 11 ist einaxial verschiebbarer Halter 12 angeschraubt (siehe auch 4),der die Schutzgaszuführung 2 aufnimmt(in y-Richtung gemäß Doppelpfeil 13 einstellbar).The invention is independent of the type of laser used, the holder of the inert gas supply 2 , Around the cylindrical sleeve 3 is a split clamping ring 6 attached. On the one part 6a of the clamping ring 6 becomes a first record 7 attached. For attachment and postioning to the part 6a are longholes 8th formed, which is a displacement of the plate 7 in the direction of the double arrow 9 (x direction). The first plate 7 is by pins 10 in the oblong holes 8th guided. The first plate 7 (see also 3a and 3b ) serves as a contact surface for a second plate 11 , The holder of the second plate 11 at the first plate 7 is realized by magnets. At this magnetically held second plate 11 is an axially displaceable holder 12 screwed on (see also 4 ), the inert gas supply 2 picks up (in y direction according to double arrow 13 adjustable).
    [0022] Beispielsweisebeim Laserschweißenmit einem CO2-Laser muss häufig mitdem Laserbearbeitungskopf in enge Vorrichtungen wie Spanneinrichtungenoder Zentrierhilfen der zu bearbeitenden Werkstücke oder in Teile der Werkstücke selbsteingefahren oder zwischen Vorrichtungen oder den Werkstücken hindurchgefahren werden. Kollisionen der Schutzgaszuführung 2 sind meistnicht gänzlich auszuschließen (Teileposition,Vorrichtungsposition). Wenn nun eine Kollision der Schutzgaszuführung 2 in Pfeilrichtung 14 gemäß 2 gegeneinen Teil der Vorrichtung oder des Werkstücks eintritt, kann die Halterungder zweiten Platte 11 gelöst werden. Die zweite Platte 11 wirdausgelenkt und von der ersten Platte in Pfeilrichtung 15 abgehoben.Zur Überwachungder Auslenkung wird in einen Kanal oder Hohlraum der ersten Platte 11 über einenEinlass 16 Druckluft eingeblasen. Der Auslass des Hohlraums istdurch die anliegende zweite Platte abgedeckt. Der Druck wird mithilfeeines Druckluftsensors gemessen.For example, in laser welding with a CO 2 laser often has to be retracted with the laser processing head into tight devices such as clamping devices or centering of the workpieces to be machined or in parts of the workpieces themselves or driven between devices or the workpieces. Collisions of the protective gas supply 2 are usually not completely ruled out (part position, device position). If now a collision of the protective gas supply 2 in the direction of the arrow 14 according to 2 enters against a part of the device or the workpiece, the holder of the second plate 11 be solved. The second plate 11 is deflected and from the first plate in the direction of the arrow 15 lifted. To monitor the deflection is in a channel or cavity of the first plate 11 over an inlet 16 Blown in compressed air. The outlet of the cavity is covered by the adjacent second plate. The pressure is measured using a compressed air sensor.
    [0023] Beieiner beliebigen Auslenkung (linear oder rotatorisch) der zweitenPlatte wird der Auslass (siehe auch 3a) geöffnet, sodass der bisher anstehende Luftdruck unter einen Schwellenwert abfällt. Eswird ein den unterschrittenen Druck betreffendes Signal an einenDruckschalter übertragen.Die Bewegung des Laserbearbeitungskopfes oder der Laserbearbeitung(Laserschweißen)wird sofort beendetAt any deflection (linear or rotational) of the second plate, the outlet (see also FIG 3a ), so that the previously existing air pressure drops below a threshold value. It is transmitted to the undershoot a pressure signal to a pressure switch. The movement of the laser processing head or the laser processing (laser welding) is terminated immediately
    [0024] 3a und 3b (Ansichtenum 180° jeweilsgespiegelt) zeigen die Verbindung der beiden Platten 7 und 11.Die erste Platte 7 nimmt in Bohrungen 17 Rundmagneteauf. Die in die Bohrungen 17 eingesetzten Dauermagnetekönnendie zweite Platte 11 dauerhaft lösbar halten. Zur Positionierungkönnendrei in der zweiten Platte 11 angeordnete Kugeln 18 inAufnahmen 18' derersten Platte 7 eingesetzt werden. Die Kugeln 18 sindin die zweite Platte 11 fest eingepresst und in den Aufnahmen 18' ohne zusätzlicheFixierung lediglich ortsfest gelagert. Mithife der drei Kugeln 18 undder Rundmagnete wird die magnetische Halterung und die genaue Positionierungder Schutzgaszuführunggewährleistet.Pfeile 19 und 20 symbolisieren die Zusammenbaurichtung bzw.die Anlage der Platten 7 und 11 aneinander. Bei einerAuslenkung werden die Kugeln 18 aus ihren Aufnahmen bewegt.Die zweite Platte 11 wird dabei durch die Magnetkraft immernochgehalten. Der Auslass 21 ist dann aber nicht mehr abgedeckt.Die Luft oder das Gas kann aus dem Hohlram 21' ausströmen. Eswird ein Druckabfall detektiert. 3a and 3b (Views mirrored by 180 °) show the connection of the two plates 7 and 11 , The first plate 7 takes in holes 17 Round magnets on. The in the holes 17 used permanent magnets can be the second plate 11 permanently detachable. For positioning, three in the second plate 11 arranged balls 18 in recordings 18 ' the first plate 7 be used. The balls 18 are in the second plate 11 firmly pressed in and in the shots 18 ' stored without additional fixation only stationary. Mithife of the three balls 18 and the round magnets, the magnetic support and the accurate positioning of the protective gas supply is ensured. arrows 19 and 20 symbolize the assembly direction or the installation of the plates 7 and 11 together. At a deflection, the balls are 18 moved out of their shots. The second plate 11 is still held by the magnetic force. The outlet 21 is then no longer covered. The air or the gas can get out of the cavern 21 ' flow out. It is detected a pressure drop.
    [0025] 4 zeigtdie Verbindung des T-förmigen Halters 12 mitder zweiten Platte 11. Der Halter 12 weist Langlöcher 22 auf,so dass der Halter 12 in z-Richtung positioniert werden kann. Aneiner Seitenfläche 23 desHalters 12 kann die Gaszuführung 2 angeschraubtwerden. 4 shows the connection of the T-shaped holder 12 with the second plate 11 , The holder 12 has long holes 22 on, leaving the holder 12 can be positioned in the z-direction. On a side surface 23 of the owner 12 can the gas supply 2 be screwed on.
    [0026] Inder 5 ist zu erkennen, dass die Gaszuführung 2 ausmehreren übereinanderliegenden Blechteilen gefertigt ist. In 6 ist dargestellt,dass fünfBlechteile 24a bis 24e übereinander angeordnet werden,um die Gaszuführung 2 auszubilden.Das Blechteil 24a bildet einen Boden, das Blechteil 24e einenDeckel. Die weiteren Blechteile 24b bis 24d weiseneine Umrandung auf, welche einen Gaszuführungskanal 25 undeine Gasaustrittsöffnung 26 begrenzen.Die Blechteile 24a bis 24e weisen zum einen Löcher 27 zurFixierung durch Stifte aneinander und zum anderen Langlöcher 28 zurFixierung an dem Halter 12 auf. Die Seiten oder Fugen der übereinanderliegenden Blechteile 24a bis 24e können zusätzlich verlötet sein.Das übereine Gaseintrittsöffnung 29 inden Kanal 25 gelangende Gas kann über die Gasaustrittsöffnung 26 zurBearbeitungsstelle ausströmen.In the 5 it can be seen that the gas supply 2 made of several stacked sheet metal parts. In 6 is shown that five sheet metal parts 24a to 24e be arranged one above the other to the gas supply 2 train. The sheet metal part 24a forms a floor, the sheet metal part 24e a lid. The other sheet metal parts 24b to 24d have a border, which has a gas supply channel 25 and a gas outlet 26 limit. The sheet metal parts 24a to 24e have holes 27 for fixing by pins to one another and to the other long slots 28 for fixing to the holder 12 on. The sides or joints of the overlying sheet metal parts 24a to 24e can be additionally soldered. That via a gas inlet opening 29 in the channel 25 passing gas can through the gas outlet 26 out to the processing point.
    11 Laserstrahllaser beam 22 SchutzgaszuführungProtective gas supply 33 Hülseshell 44 Klemmringclamping ring 55 Düsenrohrnozzle tube 66 Klemmringclamping ring 6a6a KlemmringhälfteClamping ring half 6b6b KlemmringhälfteClamping ring half 77 ErstePlatteFirstplate 88th LanglochLong hole 99 Doppelpfeildouble arrow 1010 Stiftpen 1111 ZweitePlatteSecondplate 1212 Halterholder 1313 Doppelpfeildouble arrow 1414 Pfeilrichtungarrow 1515 Pfeilrichtungarrow 1616 Einlassinlet 1717 Bohrungdrilling 1818 KugelBullet 18'18 ' Aufnahmeadmission 1919 Pfeilarrow 2020 Pfeilarrow 2121 Auslassoutlet 21'21 ' Kanalchannel 2222 LanglochLong hole 2323 Seitenflächeside surface 24a24a Blechteilsheet metal part 24b24b Blechteilsheet metal part 24c24c Blechteilsheet metal part 24d24d Blechteilsheet metal part 24e24e Blechteilsheet metal part 2525 GaszuführungskanalGas supply channel 2626 GasausrittsöffnungGas ride opening 2727 Lochhole 2828 LanglochLong hole 2929 GaseintrittsöffnungGas inlet opening
    权利要求:
    Claims (8)
    [1]
    Schutzgaszuführung(2) einer Laserbearbeitungsmaschine, dadurch gekennzeichnet,dass eine bei Kollision der Schutzgaszuführung (2) während derLaserbearbeitung lösbareHalterung der Schutzgaszuführung(2) an einem Teil (3) eines Laserbearbeitungskopfsvorgesehen ist.Inert gas supply ( 2 ) of a laser processing machine, characterized in that a collision of the protective gas supply ( 2 ) during the laser processing detachable mounting of the protective gas supply ( 2 ) on one part ( 3 ) of a laser processing head is provided.
    [2]
    Schutzgaszuführungnach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzgaszuführung (2)mithilfe einer magnetischen Halterung an dem Teil (3) desLaserbearbeitungskopfs angebracht ist.Inert gas supply according to claim 1, characterized in that the inert gas supply ( 2 ) by means of a magnetic holder on the part ( 3 ) of the laser processing head is mounted.
    [3]
    Schutzgaszuführungnach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzgaszuführung (2)mithilfe einer ersten (7) und einer zweiten Platte (11)gehalten ist, wobei die erste Platte (7) mehrere in diesePlatte (7) eingesetzte Magnete aufweist.Inert gas supply according to claim 1 or 2, characterized in that the inert gas supply ( 2 ) using a first (7) and a second plate ( 11 ), the first plate ( 7 ) several in this plate ( 7 ) used magnets.
    [4]
    Schutzgaszuführungnach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte (7)einen durch die zweite Platte (11) verschließbaren,mit Druckluft befüllbarenKanal oder Hohlraum aufweist, wobei ein Sensor zur Überwachungdes Luftdrucks und eine mit dem Sensor verbundene Steuereinrichtungzur Abschaltung der Laserbearbeitungsmaschine bei einem bestimmtenDruckabfall vorgesehen ist.Inert gas supply according to claim 3, characterized in that the first plate ( 7 ) one through the second plate ( 11 ) has closable, filled with compressed air channel or cavity, wherein a sensor for monitoring the air pressure and a sensor connected to the control device for switching off the laser processing machine is provided at a certain pressure drop.
    [5]
    Schutzgaszuführungnach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzgaszuführung (2)rohrförmigausgebildet ist.Inert gas supply according to claim 3 or 4, characterized in that the inert gas supply ( 2 ) is tubular.
    [6]
    Schutzgaszuführungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassdie Schutzgaszuführung(2) aus mehreren übereinanderangeordneten Teilen (24a bis 24e) aufgebaut ist.Inert gas supply according to one of the preceding claims, characterized in that the inert gas supply ( 2 ) of several superimposed parts ( 24a to 24e ) is constructed.
    [7]
    Schutzgaszuführungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassdie Schutzgaszuführung(2) seitlich am Laserbearbeitungskopf im Wesentlichen parallelzum Laserstrahl angeordnet ist.Inert gas supply according to one of the preceding claims, characterized in that the inert gas supply ( 2 ) is arranged laterally on the laser processing head substantially parallel to the laser beam.
    [8]
    Schutzgaszuführungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassMittel (8, 22, 28) zur Positionierungder Schutzgaszuführung(2) in x, y- und z-Richtung vorgesehen sind.Inert gas supply according to one of the preceding claims, characterized in that means ( 8th . 22 . 28 ) for positioning the inert gas supply ( 2 ) are provided in the x, y and z directions.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE102004014510B4|2009-06-10|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2005-10-13| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2009-12-03| 8364| No opposition during term of opposition|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE102004014510A|DE102004014510B4|2004-03-25|2004-03-25|Inert gas supply of a laser processing machine|DE102004014510A| DE102004014510B4|2004-03-25|2004-03-25|Inert gas supply of a laser processing machine|
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